大流量真空度調節閥的安裝方式
在大流量真空度調節閥EVR推出之前,遇到抽真空流量大、抽氣速度快的要求,只有一種安裝方式——旁路安裝。這種安裝方式是抽空泵直接對真空容器進行抽氣,抽氣速度只取決于真空泵,而不是取決于真空閥。下游安裝,真空閥裝在真空泵和容器之間,真空閥起到了一定的節流作用,抽真空流量取決于真空閥。下圖是真空度調節閥的兩種安裝方式(旁路安裝和下游安裝):
雖然在大流量抽真空時可以采用旁路安裝方式,真空泵直接對容器抽氣來加大流量,但這種安裝方式也有一定的弊端。比如,假設圖一中這個真空泵不止對一個容器抽真空,而是對多個容器抽真空,每個容器的真空度要求又不一樣,這時采用這種安裝方式就會影響系統內其他容器的真空度,*終使系統內所有容器真空度一樣。這樣看來只能在每個容器的抽氣口加裝一個真空閥,也就是下游安裝了。但下游安裝的話真空閥起到了節流作用,比如R251*大流量也只有800L/m,超過這個流量就無法達到要求。這時就需要使用大流量真空度調節閥EVR。EVR*大口徑3“,*大流量可以達到4200L/m。
由此可以得出結論,采用旁路安裝方式的,真空系統內所有容器的真空度會趨于一致;采用下游安裝方式的,只要在各個容器口加裝一個真空閥就能對每個容器的真空度進行調節。流量特別大的,可以選用大流量真空度調節閥EVR。
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