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    3. 技術文章

      高精度大流量真空控制閥EVR性能

      高精度大流量真空控制閥EVR性能從兩方面說起,一是它的高精度,二是它的大流量。EVR是先導控制式的真空閥,采用超大膜片感應,大大提高了感應靈敏度,比普通的彈簧式真空閥穩定度提高5倍。口徑從1/4”至3”,在4200L/min的流量下能提供穩定的真空度控制。從下圖可看出EVR的流量與真空度的關系,并且可用下表進行選型。

      與所有的減壓閥特性一樣,當流量變大時控制的壓力會有小許下降,上圖列出了1/4“-2“口徑的各個真空閥的流量與壓降的關系,可看出當流量超過警戒值時,真空壓力降增加比較明顯。為了選擇合適的型號,需要找出在滿足你流量要求的情況下壓力降*小的那款閥。
      比如要求流量在5-20立方英尺/分鐘,3/4”口徑的真空度控制閥顯示只有0.25英寸汞柱的真空壓降,這個值是能被大多數工況要求接受的。如果選擇1"口徑的真空閥,那么在這個流量范圍內就基本沒有真空壓力降了。如果你不確定所需流量,你可以選擇和已有管路相匹配的口徑的真空控制閥。

      可能上圖看不出EVR真空度控制閥的穩定性(上圖更適合選型用),那么下圖的流量曲線足以說明EVR出色的穩定性。以EVR-04為例,流量范圍從0至250升/分鐘變化,受控真空內的真空度基本是沒有變化的。



      看高精度大流量真空控制閥EVR性能的好壞,除了看流量對壓力的影響外,真空泵壓力的變化對受控真空內壓力的影響也是很重要的一個參數。好的真空度調節閥在真空泵吸力變化大的情況下依然能保證真空容器內的真空度穩定。下圖顯示了當真空泵吸力從10英寸汞柱至25英寸汞柱變化的時候,真空入口端(即真空容器內)壓力沒有變化


      大流量精密真空調節閥采用的是下游安裝方式,所謂下游安裝既是將真空泵安裝在容器和泵的下游,見下圖:
      點擊這里參考duray R250/R251產品信息中下游安裝與旁路安裝的區別
      需要注意的是EVR的下游安裝與R250/R251的下游安裝是有區別的。R250/R251靠將空氣(或其他氣體)放入真空容器內調節容器內的真空度,而EVR是沒有泄放口的,因此外界氣體是進不到真空容器內的。也就是說使用EVR真空閥,只能將真空度由小往大調,當需要由大往小調時要依靠容器上的泄放口往里放氣來減小真空度。

      這樣的特點看起來EVR像一個單向閥,有客戶提出疑問是否可以用單向閥代替EVR真空閥使用,其實兩者是有區別的。單向閥只能保證氣體向一個方向流動,如果用單向閥代替EVR真空閥,那么確實在真空泵停止工作的時候外界的氣體不會回流至容器內,但是真空泵運轉的時候會對容器一直抽氣,直至容器內的真空度達到真空泵的極限真空。
      而EVR不僅是有阻止外界氣體反向流動的功能,更起到調節的作用。比如真空泵的極限真空是-0.9bar,容器內所需真空度為-0.5bar,當調節好EVR控制閥后即使真空泵繼續運作,容器內真空也是一直維持在-0.5bar,而不會升高。

      高精度大流量真空控制閥EVR性能之工作原理
      EVR的基礎部件是一個精密的氣室控制的背壓閥,它使容器端壓力與先導壓力呈1:1的關系。因此調節方式可以在閥上直接裝一個精密真空閥調節,也可以遠程手動控制或用比例閥電子控制。



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