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    3. 技術(shù)文章

      高精度大流量真空控制閥EVR性能

      高精度大流量真空控制閥EVR性能從兩方面說起,一是它的高精度,二是它的大流量。EVR是先導控制式的真空閥,采用超大膜片感應,大大提高了感應靈敏度,比普通的彈簧式真空閥穩(wěn)定度提高5倍。口徑從1/4”至3”,在4200L/min的流量下能提供穩(wěn)定的真空度控制。從下圖可看出EVR的流量與真空度的關(guān)系,并且可用下表進行選型。

      與所有的減壓閥特性一樣,當流量變大時控制的壓力會有小許下降,上圖列出了1/4“-2“口徑的各個真空閥的流量與壓降的關(guān)系,可看出當流量超過警戒值時,真空壓力降增加比較明顯。為了選擇合適的型號,需要找出在滿足你流量要求的情況下壓力降*小的那款閥。
      比如要求流量在5-20立方英尺/分鐘,3/4”口徑的真空度控制閥顯示只有0.25英寸汞柱的真空壓降,這個值是能被大多數(shù)工況要求接受的。如果選擇1"口徑的真空閥,那么在這個流量范圍內(nèi)就基本沒有真空壓力降了。如果你不確定所需流量,你可以選擇和已有管路相匹配的口徑的真空控制閥。

      可能上圖看不出EVR真空度控制閥的穩(wěn)定性(上圖更適合選型用),那么下圖的流量曲線足以說明EVR出色的穩(wěn)定性。以EVR-04為例,流量范圍從0至250升/分鐘變化,受控真空內(nèi)的真空度基本是沒有變化的。



      看高精度大流量真空控制閥EVR性能的好壞,除了看流量對壓力的影響外,真空泵壓力的變化對受控真空內(nèi)壓力的影響也是很重要的一個參數(shù)。好的真空度調(diào)節(jié)閥在真空泵吸力變化大的情況下依然能保證真空容器內(nèi)的真空度穩(wěn)定。下圖顯示了當真空泵吸力從10英寸汞柱至25英寸汞柱變化的時候,真空入口端(即真空容器內(nèi))壓力沒有變化


      大流量精密真空調(diào)節(jié)閥采用的是下游安裝方式,所謂下游安裝既是將真空泵安裝在容器和泵的下游,見下圖:
      點擊這里參考duray R250/R251產(chǎn)品信息中下游安裝與旁路安裝的區(qū)別
      需要注意的是EVR的下游安裝與R250/R251的下游安裝是有區(qū)別的。R250/R251靠將空氣(或其他氣體)放入真空容器內(nèi)調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度,而EVR是沒有泄放口的,因此外界氣體是進不到真空容器內(nèi)的。也就是說使用EVR真空閥,只能將真空度由小往大調(diào),當需要由大往小調(diào)時要依靠容器上的泄放口往里放氣來減小真空度。

      這樣的特點看起來EVR像一個單向閥,有客戶提出疑問是否可以用單向閥代替EVR真空閥使用,其實兩者是有區(qū)別的。單向閥只能保證氣體向一個方向流動,如果用單向閥代替EVR真空閥,那么確實在真空泵停止工作的時候外界的氣體不會回流至容器內(nèi),但是真空泵運轉(zhuǎn)的時候會對容器一直抽氣,直至容器內(nèi)的真空度達到真空泵的極限真空。
      而EVR不僅是有阻止外界氣體反向流動的功能,更起到調(diào)節(jié)的作用。比如真空泵的極限真空是-0.9bar,容器內(nèi)所需真空度為-0.5bar,當調(diào)節(jié)好EVR控制閥后即使真空泵繼續(xù)運作,容器內(nèi)真空也是一直維持在-0.5bar,而不會升高。

      高精度大流量真空控制閥EVR性能之工作原理
      EVR的基礎(chǔ)部件是一個精密的氣室控制的背壓閥,它使容器端壓力與先導壓力呈1:1的關(guān)系。因此調(diào)節(jié)方式可以在閥上直接裝一個精密真空閥調(diào)節(jié),也可以遠程手動控制或用比例閥電子控制。



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